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      1. 服務熱線:

        029-82475571

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        產品名稱:1200℃滑動式三溫區

        產品型號:CVD-12IIIH-3Z/G(CVD-12III9H-3Z/G)

        產品品牌:

        此款CVD系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結,真空淬火退火,快速降溫等工藝實驗。

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        技術參數

        產品名稱

        1200℃滑動式三溫區CVD系統

        系統型號

        CVD-12IIIH-3Z/G

        CVD-12III9H-3Z/G

        最高溫度

        1200℃

        加熱區長度

        655mm

        940mm

        恒溫區長度

        500mm

        700mm

        溫區

        三溫區

        三溫區

        石英管管徑

        Φ50/Φ60/Φ80

        Φ80/Φ100/Φ120

        額定功率

        4.8Kw

        7.2Kw

        額定電壓

        220V

        380V(三相)

        滑動距離

        507mm

        650mm

        滑動方式

        自動滑動/手動滑動

        溫度控制

        國產程序控溫系統50段程序控溫

        控制精度

        ± 1℃

        爐管最高工作溫度

        < 1200℃

        氣路法蘭

        本實用新型在密封法蘭與管件鏈接的地方采用多環密封技術,在密封法蘭與管件外壁間形成了密封,在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效,該密封法蘭的安裝只需在第一次使用設備的時候安裝

        氣體控制方式

        質量流量計

        氣路數量

        3路(可根據具體需要選配氣路數量)

        ()

        流量范圍

        0-500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標定

        精度

        ± 1%F.S

        響應時間

        ≤ 4sec

        工作溫度

        5-45℃

        工作壓力

        進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

        系統連接方式

        采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數顯真空測量儀

        規格

        中真空

        高真空

        系統真空范圍

        10pa-100pa

        1×10-3pa-1×10-1pa

        真空泵

        雙級機械泵理論極限真空度3x10-1pa,抽氣速率4L/S,

        真空分子泵理論極限真空度5x10-6pa,

        出氣口配有油污過濾器,額定電壓220V,功率0.55Kw

        抽氣速率1600L/S額定電壓220V,功率2Kw

        爐體外形尺寸

        360× 815 ×555mm

        系統外形尺寸

        530*1440*750mm

        530*1440*750mm(不含高真空)

        系統總重量

        255Kg

        355Kg



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